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      日本松定高壓電源HEC系列
      型號:HEC系列
      品牌:日本松定電源[鵬控代理]
      產(chǎn)品說(shuō)明

      HECシリーズ

      靜電チャック用高圧電源

      ECシリーズは、靜電チャック専用として開(kāi)発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハーを剝離させることも可能です。
      単極式(2ch)、雙極式いずれにも対応できる多機能タイプです。

      ·  靜電チャック専用設計。

      ·  2ch出力內蔵(×2モデル)。

      ·  両極性出力。

      ·  リバース出力(Rモデル)。

      ·  RFフィルタ?jì)仁i(オプション)。

      ·  出力は電子スイッチで高速応答。

      ·  リレーを使わないので高信頼、長(cháng)壽命。

      ·  極性反転によるスムーズな剝離。

      出 力

      モデル名

      電 圧[kV]

      電 流[mA]

      リップル[%ms]

      ±1

      200

      0.1

      HEC-1R200×2

      ±3

      67

      0.1

      HEC-367×2

      ±5

      40

      0.1

      HEC-540×2

      ±6

      33

      0.1

      HEC-633×2

      ±10

      20

      0.1

      HEC-1020×2

       

      用戶(hù)評論 我來(lái)說(shuō)兩句(?)
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      1
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      評論人:匿名
      最后編輯于:2021-01-27 01:38
      2
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      評論人:匿名
      最后編輯于:2021-01-27 01:38
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      評論人:匿名
      最后編輯于:2021-01-10 00:44
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      評論人:匿名
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      評論人:匿名
      最后編輯于:2021-01-09 23:19

       

       

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